Список разработанного оборудования и технологий.

1. Установка вакуумного магнетронного напыления металлов (083.0045) – один образец

2. Установка магнетронного нанесения покрытий (УВНМ . ДЕ . П- 650- 011 ,другое название- 083.0046)- два образца.

3. Магнетронный распылитель, позволяющий стабилизировать температуру распыляемой мишени.

4. Технологию нанесения диэлектрических покрытий для установки 083.0046.

5. Технологию нанесения магниевых пленок.